PECVD-Verfahren | Plasmaangeregtes chemisches Gasphasen-Abscheideverfahren | Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung | Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung | Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung | Plasmaunterstütztes CVD-Verfahren | PECVD [Abbr.]
plasma-enhanced chemical vapour deposition | plasma-enhanced CVD | PECVD [Abbr.]