A 'lithographic processing simulator' is a "software" package used in the design phase to define the sequence of lithographic, etching and deposition steps for translating masking patterns into specific topographical patterns in conductors, dielectrics or semiconductor material.
Ein 'Simulator der lithografischen Bearbeitung' ist ein "Software"-Paket für die Entwurfsphase, bei dem die Schrittfolge in Bezug auf die Lithografie, das Ätzen und die Abscheidung festgelegt werden, um die Maskenmuster in die spezifischen topografischen Muster für die Leiterbahnen, dielektrischen Werkstoffe oder Halbleiterwerkstoffe umzusetzen.
